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            曝佳能將推FPD曝光設備新品 支持8代玻璃基板尺寸

               2022-07-25 ZAKER2570
            核心提示:據報道,佳能將于2022年7月下旬推出FPD(Flat Panel Display)曝光設備新品"MPAsp-H1003H",支持第8代玻璃基板尺寸,"MPAsp-H1003H"擁有1.5μm*2(L/S*3)的分辨率和±0.35μm的套合精度。

            據報道,佳能將于2022年7月下旬推出FPD(Flat Panel Display)曝光設備新品"MPAsp-H1003H",支持第8代玻璃基板尺寸,"MPAsp-H1003H"擁有1.5μm*2(L/S*3)的分辨率和±0.35μm的套合精度。

            FPD曝光設備"MPAsp-H1003H"

            近年來,隨著遠程辦公需求的激增與在線教育的迅速普及,筆記本電腦、平板電腦等IT設備所用顯示器的需求也在持續增長。此外,由于電動汽車的普及與自動駕駛技術的不斷進步,更輕薄、高清優勢的車載顯示器預計也將迎來市場需求的進一步增長。

            報道稱,雖然在第6代玻璃基板*4上目前已經實現這類高清顯示器面板的量產,但從一片玻璃能夠生產出更多顯示面板的觀點出發,第8代玻璃基板的市場需求也在不斷增加。

            據悉,佳能本次推出的FPD曝光設備"MPAsp-H1003H"支持第8代玻璃基板,同時兼顧1.5μm的分辨率和±0.35μm的套合精度,有助于提高應用在IT設備顯示器上的面板的生產效率。

            具體來看,第8代玻璃基板上實現1.5μm高分辨率

            本次發售的新產品沿用了針對第8代玻璃基板研發的FPD曝光設備"MPAsp-H1003T"(2018年10月推出)所搭載的投影光學系統,可實現對65英寸面板的一次曝光。此外,新產品還搭載了第6代玻璃基板的曝光設備"MPAsp-E813H"(2014年9月推出)所使用的超分辨技術*5,該技術經驗證,可以實現1.5μm的高分辨率。在多種技術加持下,新產品既可以滿足IT顯示器用面板的高分辨率需求,又可以實現大型顯示器所需的最大65英寸無拼接式面板的制造。

            兼顧高生產性與高套合精度

            通過對趨于成熟的高速載臺技術的升級和改進,并不斷提高了玻璃基板載臺的性能,本次發售的FPD曝光設備"MPAsp-H1003H"與上一代產品"MPAsp-H1003T"相比,實現生產效率約20%的提升。此外,通過結合"MPAsp-E813H"中經實績驗證的定位方式和倍率校正機構,新產品可實現±0.35μm的套合精度,與上一代產品"MPAsp-H1003T"相比提高了約20%。

            增強各類制造工序的工藝對應能力

            新產品配備了包含超分辨率技術照明模式的切換構件和穩定曝光線寬的自動曝光狹縫調整(SIC)構件,強化了多樣化制造工序的工藝對應能力,提供了更穩定的制造質量。

             
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